Process Geometry Migration

0

0.05

0.01

0.15

0.02

0.25

0.30

1998

1999

2000

2001

2002

2003

2004

Drawn Gate Width (Microns)

0.18

0.15

0.13

0.10

0.12

0.22

10MT/cm2

100MT/cm2

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